應(yīng)用背景

定位轉(zhuǎn)向鏡面來獲取，追蹤，定位(ATP)激光信號(hào)，一般用在通信和研究上面。

定位鏡面的過程中，可以確保非常高的精度在亞微米弧度的范圍內(nèi)，可使激光準(zhǔn)地射到數(shù)百公里以外的目標(biāo)。

測量方案

采用四個(gè)電渦流傳感器探頭-一對(duì)傳感器對(duì)應(yīng)一個(gè)軸方向-安裝在鏡面后面以檢測其運(yùn)動(dòng)位移（如圖1所示）。每個(gè)傳感器的作用相當(dāng)于平衡橋路的一條腿，當(dāng)鏡子旋轉(zhuǎn)時(shí)，橋便失去平衡，這里傳感器提供一個(gè)雙極性輸出電壓，這個(gè)電壓跟鏡面的位移成正比。因ZED51/52電渦流傳感器具有1nm的動(dòng)態(tài)分辨率（靜態(tài)分辨率0.1nm）以及超長的時(shí)間穩(wěn)定性，所以鏡面出現(xiàn)納米級(jí)偏移都可以被準(zhǔn)備檢測到并且反饋給閉環(huán)系統(tǒng)進(jìn)行調(diào)節(jié)。

方案選用的產(chǎn)品：ZED51/52納米級(jí)差動(dòng)電渦流傳感器

ZED51/52納米級(jí)差動(dòng)電渦流傳感器主要特點(diǎn)：

非接觸：用電渦流技術(shù)，傳感器可以在不接觸被測目標(biāo)的情況下進(jìn)行測量，測量結(jié)果精確，可靠性高。

高分辨率：測量鏡面角位移的精確度可達(dá)亞微弧度，它僅受限于傳感器的安裝。

靈活性：多傳感器配置可容納多種測量范圍和其他性能方面的考慮，比如說鏡子的尺寸或者位移。

體積小易安裝：ZED51尺寸很小（2.12X2.00X0.75英寸），重量輕（70g）。

用途廣泛：ZED51除了可以用于定位鏡面，還可用于通訊衛(wèi)星的激光夜視鏡測距。

ZED51/52納米級(jí)差動(dòng)電渦流傳感器測量原理：

差分測量系統(tǒng)是精密測量技術(shù)的重大進(jìn)步。它們提供出色的分辨率、可重復(fù)性和歸零精度，用于檢測導(dǎo)電目標(biāo)相對(duì)于一對(duì)非接觸式傳感器的對(duì)齊/居中位置。

對(duì)于差分測量應(yīng)用，每個(gè)通道有兩個(gè)精確匹配的傳感器位于目標(biāo)的相對(duì)兩側(cè)或兩端。在這種傳感器到目標(biāo)的關(guān)系中，當(dāng)目標(biāo)遠(yuǎn)離一個(gè)傳感器時(shí)，它向另一個(gè)傳感器移動(dòng)等量。輸出為差分和雙極。同一電橋的相對(duì)腿上的電子匹配傳感器提供了卓越的熱穩(wěn)定性。