???????隨著國(guó)防科技、精密制造等領(lǐng)域中,機(jī)械裝置想著超精密化方向的發(fā)展,如芯片制造、天文觀測(cè)、激光加工等領(lǐng)域,對(duì)于其中用到的鏡面偏轉(zhuǎn)裝置也有著更高的要求,需要對(duì)于鏡面偏移裝置的精密微位移、偏移有極高的測(cè)量要求,這對(duì)于鏡面偏轉(zhuǎn)裝置的驅(qū)動(dòng)控制有著極為重要的意義。
???????對(duì)于鏡面偏轉(zhuǎn)的微位移測(cè)量,大多在微米級(jí)的位移量,對(duì)于分辨率更有著極高的要求,并且部分應(yīng)用中,還會(huì)用于比較特殊的環(huán)境中,例如高原、極地天文望遠(yuǎn)鏡或者真空中光刻機(jī)的等溫度條件或高壓條件,這種種因素都對(duì)鏡面的微位移測(cè)量提高了難度。
???????真尚有科技在鏡面微位移的精密測(cè)量有著自己獨(dú)特的技術(shù),利用電容測(cè)微原理的非接觸式位置測(cè)量系統(tǒng),以此來(lái)測(cè)量鏡面偏移裝置的精密微位移,對(duì)于溫度變化大帶來(lái)的溫漂范圍大以及真空高壓,真尚有提供定制性方案,定制探頭使用具有高熱穩(wěn)定性材質(zhì)的超殷鋼、塞爾杜爾和陶瓷材質(zhì)帶來(lái)穩(wěn)定的測(cè)量,實(shí)現(xiàn)高輻射,特高壓,低溫解決方案。
???????真尚有科技提供各種檢測(cè)方案,我們不僅僅提供各種技術(shù)方面的支持,基于我們?cè)谛袠I(yè)內(nèi)超過(guò)15年的積累,協(xié)助客戶一起把原始需求迭代為完整方案,最終服務(wù)您的方案藍(lán)圖反而是我們更注重的地方。我們始終相信成交靠緣分,不管您是否從我們這里采購(gòu),我們都非常樂(lè)意為您服務(wù)。
ZNX超精密電容位移傳感器是一種基于電容測(cè)微原理的非接觸式位置測(cè)量系統(tǒng)。 兩個(gè)傳感器板,一個(gè)目標(biāo)和一個(gè)探頭,形成一個(gè)平行板電容器。 可以使用適當(dāng)?shù)碾娮涌刂破鳒y(cè)量這兩個(gè)板的間距。 可以實(shí)現(xiàn)最小至 7 皮米 (RMS) 的分辨率。 我們的標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品提供 20um 至 1250um 的測(cè)量范圍,頻率響應(yīng)高達(dá) 5KHz,線性度低至 0.02%。高熱穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)(提供超殷鋼、微晶玻璃和陶瓷選項(xiàng))材料選擇以最大限度地減少位置漂移。
CC-A-4101控制器是用于驅(qū)動(dòng) ZNXSensor 系列的單通道獨(dú)立電子模塊。 它通過(guò)測(cè)量平行板電容器的電容變化來(lái)工作,并輸出與ZNXSensor 間隙成正比的模擬電壓。
當(dāng)傳感器間隙從標(biāo)稱間隙的 50% 變化到 150% 時(shí),電壓輸出在 -5V 和 +5V 之間線性變化,此比例可由用戶設(shè)置。
ZNX超精密電容位移傳感器其緊湊的尺寸、獨(dú)立操作和高分辨率使其成為升級(jí)需要納米定位的現(xiàn)有系統(tǒng)的理想選擇。
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