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光刻機中需要檢測其結構的形變，這就需要一種高分辨率應變感應，以校正機械裝置的納米振動。
其測量方式如下：在片上非平衡馬赫-曾德爾干涉儀（MZI）中即PGR中插入一個與pi位移FBG對準的掃描窄線寬激光器。MZI用作波長跟蹤器，可以同時測量光功率；根據該信息，可以生成光譜，并且可以高精度確定FBG波長。因為掃描激光器是窄線寬激光器，這意味著調制期間的波長噪聲很低。但是當我們使用非波長校正算法時，線寬“噪聲”會導致白噪聲基底。使用PGR可以測量這些微小的偏差，并在應變/溫度測量中進行補償。可以測量高達0.2nε的應變值，可以用應變噪聲的功率譜密度表示。