KAMAN KD5100納米級差動電渦流傳感器特點：

?（1）、每通道兩個精確匹配的傳感器使分辨率達到1nm；
（2）、超耐熱，長時間穩定：1.27x10-4mm/月或更好；
（3）、有耐低溫傳感器；
（4）、超高靈敏度，最高到394 mV/μm；
（5）、低功耗：小于2W(±15 Vdc典型情況下)；
（6）、探頭和控制器都可用于低至 10-6Torr 的真空應用；
（7）、小尺寸：2 x 2.12 x 0.75 英寸厚。

對于被測物的要求：

1、 材料： KD5100不可以檢測鐵、鎳和它們的許多合金（磁性導電的被測物）；鋁是最實用的目標材料。只要遵守目標厚度指南，您就可以將鋁目標安裝在溫度特性更穩定的材料上，例如 Invar 或其他基板。  -- PS：可根據客戶項目要求，直接使用除鋁以外的目標材料進行校準。

2、厚度：為避免目標溫度變化引起的變化，被測物的最小厚度應至少為三個趨膚深度。在傳感器彼此相對的情況下，鋁目標厚度必須至少為 0.050 英寸，以防止傳感器相互作用。

3、尺寸：最小目標橫截面必須是傳感器直徑的 1.5 到 2 倍。

KAMAN KD5100納米級差動電渦流傳感器應用領域：

差動測量： 兩個精確匹配的傳感器被放置在被測物平臺兩側，這兩個傳感器組成了平衡橋電路相反的兩端，這個結構提供了極好的線性和熱穩定性，所以其輸出準確地記錄了線性的最微小移動。如激光反射鏡聚焦平臺定位。 

低溫應用： 20N傳感器有一個專門的低溫應用版本，它有一個內部伸縮接頭，當用螺絲安裝一個貝勒維爾墊圈后，可有效消除壓力或溫度引起的機械變性。已證明其在70°K的液態氮中有最優異的性能。好幾個空間項目在4°K的液態氦環境中使用了此傳感器。 

真空應用： 傳感器和KD5100的電子器件都已用在10-6托的真空應用中了。 

超高精度宇航應用： 已制造出MIL-H-38534。所有電子器件均采用符合MIL-SPEC標準的。KD-5100在戰斗環境下超過55,000小時，太空飛行環境下超過238,000小時。 小尺寸 (只有 2 x 2.12 x 0.75英寸) ，可應用于空間狹小的場合。 

商業差動： DIT5200差分系統就是KD5100的一個商業版本。此系統大大減小了微分系統的成本，又保持了性能優勢。在重量、大小和能耗沒有特殊限定的情況下，這些差動系統是首選。 

中繼鏡片激光定位（RME）： RME演示了一束從地球發射到450公里軌道上人造衛星的激光可以被精確地反射到直徑3米的目標地面。 KD5100被用于精確定位60cm的中繼鏡片，其精度高于試驗目標的16倍，視線穩定度高2.3倍。 

半導體圓晶片制造中的超高精確激光聚焦： 激光微注技術被用于開發半導體圓晶片制造中的“直接寫入”應用和高吞吐量模板圖案應用，而且還被融合進0.1微米工藝的產品中。KD5100就被應用到此技術中，精確控制激光的位置，完成超高精確位置、關鍵尺寸和對齊控制。 

其它應用：精確望遠鏡定位、磁懸浮軸定位。

KAMAN KD5100納米級差動電渦流傳感器技術規格：

KAMAN KD5100納米級差動電渦流傳感器測量原理：

    差分測量系統是精密測量技術的重大進步。 它們提供出色的分辨率、可重復性和歸零精度，用于檢測導電目標相對于一對非接觸式傳感器的對齊/居中位置。

    對于差分測量應用，每個通道有兩個精確匹配的傳感器位于目標的相對兩側或兩端。在這種傳感器到目標的關系中，當目標遠離一個傳感器時，它向另一個傳感器移動等量。輸出為差分和雙極。 同一電橋的相對腿上的電子匹配傳感器提供了卓越的熱穩定性。

KAMAN KD5100納米級差動電渦流傳感器應用領域：

差動測量： 兩個精確匹配的傳感器被放置在被測物平臺兩側，這兩個傳感器組成了平衡橋電路相反的兩端，這個結構提供了極好的線性和熱穩定性，所以其輸出準確地記錄了線性的最微小移動。如激光反射鏡聚焦平臺定位。 

低溫應用： 20N傳感器有一個專門的低溫應用版本，它有一個內部伸縮接頭，當用螺絲安裝一個貝勒維爾墊圈后，可有效消除壓力或溫度引起的機械變性。已證明其在70°K的液態氮中有最優異的性能。好幾個空間項目在4°K的液態氦環境中使用了此傳感器。 

真空應用： 傳感器和KD5100的電子器件都已用在10-6托的真空應用中了。 

超高精度宇航應用： 已制造出MIL-H-38534。所有電子器件均采用符合MIL-SPEC標準的。KD-5100在戰斗環境下超過55,000小時，太空飛行環境下超過238,000小時。 小尺寸 (只有 2 x 2.12 x 0.75英寸) ，可應用于空間狹小的場合。 

商業差動： DIT5200差分系統就是KD5100的一個商業版本。此系統大大減小了微分系統的成本，又保持了性能優勢。在重量、大小和能耗沒有特殊限定的情況下，這些差動系統是首選。 

中繼鏡片激光定位（RME）： RME演示了一束從地球發射到450公里軌道上人造衛星的激光可以被精確地反射到直徑3米的目標地面。 KD5100被用于精確定位60cm的中繼鏡片，其精度高于試驗目標的16倍，視線穩定度高2.3倍。 

半導體圓晶片制造中的超高精確激光聚焦： 激光微注技術被用于開發半導體圓晶片制造中的“直接寫入”應用和高吞吐量模板圖案應用，而且還被融合進0.1微米工藝的產品中。KD5100就被應用到此技術中，精確控制激光的位置，完成超高精確位置、關鍵尺寸和對齊控制。 

其它應用：精確望遠鏡定位、磁懸浮軸定位。

KAMAN KD5100納米級差動電渦流傳感器應用領域：

差動測量： 兩個精確匹配的傳感器被放置在被測物平臺兩側，這兩個傳感器組成了平衡橋電路相反的兩端，這個結構提供了極好的線性和熱穩定性，所以其輸出準確地記錄了線性的最微小移動。如激光反射鏡聚焦平臺定位。 

低溫應用： 20N傳感器有一個專門的低溫應用版本，它有一個內部伸縮接頭，當用螺絲安裝一個貝勒維爾墊圈后，可有效消除壓力或溫度引起的機械變性。已證明其在70°K的液態氮中有最優異的性能。好幾個空間項目在4°K的液態氦環境中使用了此傳感器。 

真空應用： 傳感器和KD5100的電子器件都已用在10-6托的真空應用中了。 

超高精度宇航應用： 已制造出MIL-H-38534。所有電子器件均采用符合MIL-SPEC標準的。KD-5100在戰斗環境下超過55,000小時，太空飛行環境下超過238,000小時。 小尺寸 (只有 2 x 2.12 x 0.75英寸) ，可應用于空間狹小的場合。 

商業差動： DIT5200差分系統就是KD5100的一個商業版本。此系統大大減小了微分系統的成本，又保持了性能優勢。在重量、大小和能耗沒有特殊限定的情況下，這些差動系統是首選。 

中繼鏡片激光定位（RME）： RME演示了一束從地球發射到450公里軌道上人造衛星的激光可以被精確地反射到直徑3米的目標地面。 KD5100被用于精確定位60cm的中繼鏡片，其精度高于試驗目標的16倍，視線穩定度高2.3倍。 

半導體圓晶片制造中的超高精確激光聚焦： 激光微注技術被用于開發半導體圓晶片制造中的“直接寫入”應用和高吞吐量模板圖案應用，而且還被融合進0.1微米工藝的產品中。KD5100就被應用到此技術中，精確控制激光的位置，完成超高精確位置、關鍵尺寸和對齊控制。 

其它應用：精確望遠鏡定位、磁懸浮軸定位。

KAMAN KD5100納米級差動電渦流傳感器安裝尺寸：