ZED53可定制差動電渦流位置傳感器特點：

(1)、無磨損與非接觸測量，差動原理 

(2)、高精度（最高優于±0.3 %FSO）與高分辨率（最高<0.002 %FSO）

(3)、高溫度穩定性（最高優于±0.003 %FSO/°C）

(4)、安裝簡單，um級的安裝精度

(5)、支持探頭定制（探頭的量程、形狀、材料、導線長度可以定制）

(6)、可測鐵磁與非鐵磁材料 

(7)、適用于復雜的工業環境：污垢、壓力、 高/低溫度

    在渦流差動系統中，感應電橋中的兩個線圈安裝在兩個獨立的傳感器中。并不是一個有源線圈和一個參考線圈，而是兩個傳感器都包含有源線圈，這兩個傳感器通常放置在目標的相對兩側或目標樞軸點的相對兩側。當目標靠近一個傳感器時，它會遠離另一個傳感器，從而增加電感電橋一條腿的阻抗，并降低另一條腿的阻抗。這種推挽效應放大了每位移的線性輸出，并消除了對增加噪聲和漂移的求和放大器的需要。因此，差分系統比單端系統提供更高的分辨率和熱穩定性。

影響測量精度的因素

(1)、目標板尺寸：目標板尺寸應大于探頭尺寸的3倍，且在探頭直徑的3倍空間內存在除目標物外的其他導電材料將造成線性的惡化；

(2)、目標材料：被測目標材料如果不使用指定的材料將使非線性、溫度穩定性與參數表產生差異，用戶可在重新標定之后正常使用；

(3)、目標厚度：目標導體的厚度至少是4倍肌膚深度以上，對鋁合金材料目標厚度大于0.4mm。如果兩個測量探頭測量目標同—位置的正反面，建議目標厚度大于1mm。

(4)、調零過程：安裝探頭時按照調零步驟進行操作，在第1、2步驟中盡量準確的將電壓調整到Vref和0V。如果零點位置偏差較大可能造成非線性、溫度穩定性的惡化；

(5)、探頭匹配：為保證傳感器達到出廠標定的性能指標，4個測量探頭的編號與通道編號對應連接，不可隨意配對安裝；

(6)、固定結構：測量探頭的固定結構應盡量穩定和緊湊,復雜的傳動鏈和熱膨脹系數高的框架材料將惡化測量的溫度穩定性；

(7)、角度偏差：目標板在運動過程中與測量探頭表面不平行，造成線性的惡化，但對噪聲和溫漂系數影響不大，用戶可在重新標定后正常使用。

屏蔽探頭和非屏蔽探頭

（1）、非屏蔽探頭

線圈用PEEK材料封裝 電磁場分布范圍大 測量范圍大需要更大的被測面尺寸 對相鄰導體的抗干擾性差

（2）、屏蔽探頭

PEEK封裝與金屬外殼平齊 電磁場分布范圍小，測量范圍小 對相鄰導體的抗干擾性強

校準

為了保持ZED53傳感器具有最優的綜合性能（特別是溫度穩定性），傳感器不提供用于調整靈敏度和零位的電位器。如果遇到更換目標材料、目標尺寸偏小、測量探頭周圍有其他金屬等特殊情況需要重新標定，則可以記錄下位移與輸出電壓的對應關系，利用數字校正的方式進行優化。通常情況下，數字校正比模擬校正更能保持傳感器的綜合性能。

安裝方式

（1）、螺紋探頭

螺紋固定是比較常用的固定方式，有以下兩種固定方式，探頭需要伸出金屬螺母或固定板一段距離，具體數值見探頭尺寸圖。

由于螺紋間隙的存在，探頭的安裝角度可能存在一定的誤差，選配和探頭接觸緊密的螺母可以一定程度上減小誤差。

（2）、光桿探頭

光桿探頭可以采用圓周抱死固定，可提供穩固的固定效果。探頭需要伸出金屬夾具一段距離，具體數值見探頭尺寸圖。

ZED53可定制差動電渦流位置傳感器應用領域：

快速轉向鏡

伺服控制位置反饋

舞臺定位

角位移指示

X-Y 軌道位置反饋

觸控筆位置

磁懸浮軸承定位

精密構件平衡

集成電路制造平臺定位

……

ZED53可定制差動電渦流位置傳感器技術規格：

ZED53可定制差動電渦流位置傳感器測量原理：

渦流原理：在電感式位移傳感器中，渦流原理占有獨特的地位。通過渦流進行位移測量是基于從振蕩電路中提取渦流能量。傳感器探頭的核心是線圈，給線圈通以高頻交流信號，線圈周圍就會形成磁場；如果將導體放置在該磁場中，根據法拉第感應定律，則會感應出渦流場，該電渦流場反過來影響磁場強度，并最終改變線圈的電感和電阻。線圈和導體的距離越近，在導體內形成的電渦流強度就越大，線圈電感和電阻變化量就越大，因此線圈的電感和電阻值與距離產生了對應關系。傳感器控制器內部的精密解調電路可以獲取線圈的信號幅度和相位位置的變化來計算線圈的阻抗信息，進而實現位移測量。

差分原理：差分測量系統是精密測量技術的重大進步。 它們提供出色的分辨率、可重復性和歸零精度，用于檢測導電目標相對于一對非接觸式傳感器的對齊/居中位置。對于差分測量應用，每個通道有兩個精確匹配的傳感器位于目標的相對兩側或兩端。在這種傳感器到目標的關系中，當目標遠離一個傳感器時，它向另一個傳感器移動等量。輸出為差分和雙極。同一電橋的相對腿上的電子匹配傳感器提供了卓越的熱穩定性。

相位解調法：傳感器能達到超高分辨率的原因是使用了相位解調法。常用的解調電路中使用較多運放，不可避免的引入很多系統噪聲。而相位解調法具有超高的靈敏度，不需要高增益的運放即可達到理想的輸出范圍。

ZED53可定制差動電渦流位置傳感器應用領域：

快速轉向鏡

伺服控制位置反饋

舞臺定位

角位移指示

X-Y 軌道位置反饋

觸控筆位置

磁懸浮軸承定位

精密構件平衡

集成電路制造平臺定位

……

ZED53可定制差動電渦流位置傳感器應用領域：

快速轉向鏡

伺服控制位置反饋

舞臺定位

角位移指示

X-Y 軌道位置反饋

觸控筆位置

磁懸浮軸承定位

精密構件平衡

集成電路制造平臺定位

……

ZED53可定制差動電渦流位置傳感器安裝尺寸：

ZED53控制器：

ZED53參考探頭：

ZED53標準探頭：