ZNX超精密電容位移傳感器是一種基于電容測(cè)微原理的非接觸式位置測(cè)量系統(tǒng)。 兩個(gè)傳感器板，一個(gè)目標(biāo)和一個(gè)探頭，形成一個(gè)平行板電容器。 可以使用適當(dāng)?shù)碾娮涌刂破鳒y(cè)量這兩個(gè)板的間距。 可以實(shí)現(xiàn)最小至 7 皮米 (RMS) 的分辨率。 我們的標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品提供 20um 至 1250um 的測(cè)量范圍，頻率響應(yīng)高達(dá) 5KHz，線性度低至 0.02%。高熱穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)（提供超殷鋼、微晶玻璃和陶瓷選項(xiàng)）材料選擇以最大限度地減少位置漂移。

CC-A-4101控制器是用于驅(qū)動(dòng) ZNXSensor 系列的單通道獨(dú)立電子模塊。 它通過測(cè)量平行板電容器的電容變化來工作，并輸出與ZNXSensor 間隙成正比的模擬電壓。 當(dāng)傳感器間隙從標(biāo)稱間隙的 50% 變化到 150% 時(shí)，電壓輸出在 -5V 和 +5V 之間線性變化，此比例可由用戶設(shè)置。

ZNX超精密電容位移傳感器其緊湊的尺寸、獨(dú)立操作和高分辨率使其成為升級(jí)需要納米定位的現(xiàn)有系統(tǒng)的理想選擇。

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CWCS10納米級(jí)電容傳感器采用電容式測(cè)量原理，無需接觸被測(cè)物即可測(cè)量傳感器與被測(cè)物表面之間的距離，并且具有納米級(jí)的分辨率。

CWCS10納米級(jí)電容傳感器的最高工作溫度受連接器內(nèi)部焊接材料的熔化溫度限制，標(biāo)準(zhǔn)探頭也能在接近絕對(duì)零度的極低溫度下進(jìn)行測(cè)量。并且由于傳感器的靈敏度容差很小，因此更換探頭后無需重新校準(zhǔn)仍然可以保證 ±0.5% 的總精度。對(duì)于特殊應(yīng)用，納米級(jí)電容傳感器CWCS10的輸出電壓的靈敏度還可以調(diào)整為 0 到 10 倍。

CWCS10納米級(jí)電容傳感器測(cè)量受電介質(zhì)特性的影響。通常用于空氣中的測(cè)量，傳感器和目標(biāo)之間的區(qū)域應(yīng)該完全沒有灰塵、油或水。如有必要，這可以通過將空氣吹過傳感器和目標(biāo)之間的間隙來實(shí)現(xiàn)。

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LP-IM100皮米干涉位移傳感器 可測(cè)量納米范圍內(nèi)的位移（增量距離）。LP-IM100 采用模塊化和小型化設(shè)計(jì)，可輕松使所有三個(gè)測(cè)量軸適應(yīng)各種應(yīng)用。

憑借其緊湊的尺寸，LP-IM100干涉位移傳感器可以直接集成到機(jī)器中，是具有挑戰(zhàn)性的OEM和同步加速器應(yīng)用的首選產(chǎn)品。被動(dòng)冷卻的外殼最大限度地減少了噪音和振動(dòng)，并避免干擾其他光學(xué)和電氣部件。

對(duì)于更受限制的應(yīng)用，傳感器頭可以遠(yuǎn)程操作，并通過玻璃纖維互連。位移測(cè)量干涉儀的法布里-珀羅技術(shù)使得傳感器頭具有更少的部件，因此測(cè)量更穩(wěn)定。

各種數(shù)字和模擬實(shí)時(shí)接口和協(xié)議使位置數(shù)據(jù)的簡單傳輸成為可能。用于實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)通信的高速接口有AquadB、專有串行字(HSSL)、合成模擬sin/cos/和線性模擬輸出信號(hào)。所有信號(hào)可以輸出為單端(LVTTL)或差分(LVDS)。

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