DFAA10自對(duì)準(zhǔn)晶圓測(cè)試系統(tǒng)是為硅光子晶圓設(shè)計(jì)的自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)。該系統(tǒng)由“探針臺(tái)模塊”，“光學(xué)對(duì)準(zhǔn)模塊”和“測(cè)量模塊”組成。
光學(xué)垂直耦合、透鏡對(duì)準(zhǔn)...
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